一、设备简介
通过上CCD高精度视觉相机系统，对散放于供料盘内的石英晶片进行识别、定位和判断，由高精度散料轴进行移动补偿；通过高速伺服轴带动移载机械手将石英晶片从散料侧吸取、搬运、触发下CCD相机进行识别判断、系统进行位置和角度补偿、摆放到指定夹具中。
二、设备特点
1.采用本公司自行研发的多种光源，可稳定识别抛光晶片和非抛光晶片。
2.采用高精度直线电机配合精密直线导轨，可有效提高插入率。
3.顶部有净化单元，内部有静电消除装置，可有效提高设备内部的洁净程度。
4.可根据需求定制同时适用多种规格产品的机型，目前最小可兼容到1008规格，最大可兼容到7050规格。
5.包含收料下吸附功能，增加排片的稳定性，保证设备插入率。
6.采用四组搬运机械手，并用千兆总线控制系统，大大提高设备的工作效率。
三、设备参数(通用型)

 

收纳机构

移载机械手