设备型号：AF-15C 本设备是为了调整晶体谐振器的频率而开发，由上下料（上下料自带电清洗功能）、准备室和处理室两个舱室构成，采用单侧进单侧出的方式。搭载晶体的载盘在大气侧经过电清洗后设置到规定位置后，在准备室进行真空排气，运送到处理室，在处理室用离子枪产生的氩Ar离子蚀刻金属电极膜。同时用网络分析仪计测和控制经过蚀刻后频率的变化调整到目标频率。频率调整结束后的载盘被搬送到准备室，和待处理的载盘调换后被搬运到两舱室外运送回提篮。